精密洗浄・精密コーティング技術

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精密洗浄技術

霧化技術の開発が生み出した技術

半世紀にわたる霧化技術の開発をベースに洗浄液を微粒化し、その衝突エネルギーで洗浄します。非接触の物理的洗浄で、サブミクロン単位の微小パーティクルの洗浄に対応しております。

超高圧マイクロジェット洗浄システム(High Pressure Micro Jet Cleaning System)

超高圧マイクロジェット洗浄システムとは、洗浄液をポンプから加圧圧送し、マイクロジェットノズルから微小液滴化した洗浄液をワークに向かって高速噴射する物理的な洗浄システムです。

洗浄イメージ図

洗浄メカニズム(ジェッティング効果)

洗浄液滴が対象に衝突した瞬間

マイクロジェットノズルから微小液滴化し、高速かつ高密度に連続衝突させることで、ワーク上の微小パーティクルを剥離します。

圧力と噴射速度の関係

超高圧マイクロジェット洗浄システムの霧化方式は、超純水を加圧して、マイクロジェットノズルで霧化する一流体方式。圧力は最大20MPaまで昇圧可能で、洗浄力の要因と考えられる噴射速度を大きく調整することができます。

圧力と噴射速度の関係

精密コーティング技術

ナノの世界を科学した技術

粒子径と粒子飛行速度を個別に制御して適切な塗膜を形成する技術、より均一な微粒化を低圧でできる技術、
材料を連続安定供給する技術、それらを組み合わせることにより、ナノレベルの超薄膜から数μmレベルまでの膜厚形成を実現しています。

精密コーティング装置

ガラス基板を回転させないスキャン方式を採用したシンプルな構造のコーティング装置。
要求仕様や、材料に合わせたノズルと供給装置を提案します。

ノズル

【能力】:1μmの膜厚条件で±2〜3%の膜厚精度です。

【膜厚】:ナノレベルの超薄膜、数十ナノレベルの薄膜、数μmレベルの膜に対応します。

回転霧化ガン(NCベル)

粒子径、粒子飛行速度を個別に制御して適切な塗膜を実現します。

※塗着効率向上のため粒子飛行速度をコントロールすることができます。

回転霧化ガン(RAC)

小型化により、小面積の塗布に最適です。
微少吐出、高微粒化により高精度の塗膜が形成できます。

※NCベルの特長に加え、接液部を樹脂素材にすることにより、耐薬品性が向上しています。

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