精密洗浄提案

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超高圧マイクロジェット洗浄システム(HPMJ)の提案事例

HPMJによるウェットプロセスの工程改善フロー

事例1:ブラシ洗浄をHPMJに取り換える。低圧シャワー洗浄をHPMJに取り換える。

既存ラインの洗浄構成をHPMJに取り換えることにより、工程数を増やすことなく洗浄力をあげることができます。

効果

サブミクロンレベルまでのパーティクルを幅広く除去できます。
非接触式洗浄のためワークへの影響を少なくできます。

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事例2:洗浄ラインにHPMJを追加する。

既存ラインの洗浄構成の空きスペースを利用してHPMJを追加することにより、洗浄力をあげることができます。
省スペース設計のユニットのため追加しても場所をとりません。

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事例3:ウェーハ研磨装置にHPMJを取り付ける

効果

研磨パッドを洗浄することで研磨パッドの寿命を延ばします。
研磨パッド上のパーティクルを除去することによりワークへのマイクロスクラッチを減らします。

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事例4:超音波洗浄工程前にHPMJを追加する

効果

超音波洗浄との相乗効果により洗浄力がアップします。
超音波洗浄液の交換頻度を抑えます。
ウェーハカセットも同時に洗浄できます。

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事例5:フィルム洗浄にHPMJを取り付ける

効果

フィルムに埋まっているパーティクルを除去します。
非接触式洗浄のため膜面を傷めません。

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事例6:薬液剥離洗浄にHPMJを取り付ける

HPMJから各種薬液を噴射することができます。
(噴射可能な薬液はお問い合わせください)

効果

薬液作用とジェッティングの相乗効果で剥離時間を大幅に短縮します。

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