rCoater(研究用小型コータ)

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rCoater(研究用小型コータ)

小型基板へのコーティングをスプレー方式で簡単に実現できます。
少ない材料で簡単にスプレーコーティングサンプルが製作できます。
研究用途からサンプル出荷品まで幅広い用途で使用できます。
オプションでカバー、給排気装置、ホットプレートなど搭載可能です。
大学や研究機関、企業の要素開発などで採用されています。

最大適用ワーク 50mm×50mm
最大稼動範囲 200mm×200mm
最大スキャン速度 20m/min
ノズル数量 1個
外形寸法 520mm×450mm×570mm ※概寸
本体重量 30kg
仕様分類 成膜装置・コーティング装置
オプション 回転機構

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rCoater(静電誘引ノズル)

最大適用ワーク 100mm×100mm
最大稼動範囲 200mm×200mm
最大スキャン速度 36m/min
ノズル数量 1個
外形寸法 861mm×685mm×824mm ※概寸
本体重量 30kg
仕様分類 成膜装置・コーティング装置
オプション ヒーター500℃仕様
円筒形ワーク回転機構
窒素パージシステム
rCoater(静電誘引ノズル)

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