精密コーティング装置

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精密コーティング装置(Precision Coating System)

PCS2020

最大適用ワーク 200mm×200mm
最大稼動範囲 440mm×540mm
最大スキャン速度 40m/min
ノズル数量 1個
外形寸法 1500mm×1600mm×2095mm
本体重量 500kg
仕様分類 成膜装置・コーティング装置

PCS3747

最大適用ワーク 370mm×470mm
最大稼動範囲 590mm×790mm
最大スキャン速度 40m/min
ノズル数量 1個
外形寸法 1550mm×1800mm×2155mm
本体重量 800kg
仕様分類 成膜装置・コーティング装置

PCS5565-MT

最大適用ワーク 550mm×650mm
最大稼動範囲 700mm×800mm
最大スキャン速度 40m/min
ノズル数量 1個
外形寸法 1800mm×1850mm×2208mm
本体重量 1200kg
仕様分類 成膜装置・コーティング装置

精密コーティング量産装置

PCSシリーズ

最大稼動範囲 ワークに応じ設定
最大スキャン速度 40m/min
ノズル数量 1個〜
外形寸法 基板サイズに合わせ設計します。
仕様分類 成膜装置・コーティング装置

最大適用ワーク 川幅2m実績あり
最大稼動範囲 ワークに応じ設定
最大スキャン速度 40m/min
ノズル数量 1個〜
外形寸法 基板サイズに合わせ設計します。
仕様分類 成膜装置・コーティング装置

ロールtoロールシリーズ

ロールtoロールシリーズ

最大適用ワーク 大型フィルム対応可能
最大稼動範囲 ワークに応じ設定
ノズル数量 別途相談
外形寸法 基板サイズに合わせ設計します。
仕様分類 成膜装置・コーティング装置

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