精密コーティング技術

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コーティング

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ナノの世界を科学した技術

粒子径と粒子飛行速度を個別に制御して適切な塗膜を形成する技術、より均一な微粒化を低圧でできる技術、
材料を連続安定供給する技術、それらを組み合わせることにより、ナノレベルの超薄膜から数μmレベルまでの膜厚形成を実現しています。

精密コーティング装置

スキャンコーティングの様子

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ガラス基板を回転させないスキャン方式を採用したシンプルな構造のコーティング装置。
要求仕様や、材料に合わせたノズルと供給装置を提案します。

ノズル

【能力】:1μmの膜厚条件で±2〜3%の膜厚精度です。

【膜厚】:ナノレベルの超薄膜、数十ナノレベルの薄膜、数μmレベルの膜に対応します。

回転霧化ガン(NCベル)

粒子径と粒子飛行速度を個別に制御している様子

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粒子径、粒子飛行速度を個別に制御して適切な塗膜を実現します。
※塗着効率向上のため粒子飛行速度をコントロールすることができます。

回転霧化ガン(RAC)

小型化により、小面積の塗布に最適です。
微少吐出、高微粒化により高精度の塗膜が形成できます。
※NCベルの特長に加え、接液部を樹脂素材にすることにより、耐薬品性が向上しています。

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低圧霧化ガン(AGB-40N)

パターン内で均一な粒子径を安定的に噴霧します。
※乾燥速度が均一になり、良好な仕上がりを得られます。
※誘導帯電方式にも対応しております。

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供給装置

材料供給は用途に応じてギア式、ダブルシリンジ式のポンプを選択でき、安定した供給が可能です。

ギア式

接液部を高精度加工及び特殊表面処理をしたギア式ポンプです。
(ギアポンプの分解洗浄も 容易にできます)

ダブルシリンジ式

バルブレスで、接液部非金属仕様。
高精度の少量連続安定供給が可能なポンプです。

用途例

機能膜 FPD用蛍光・発光・スラリー・
電極・保護膜
太陽電池 酸化チタン・酸化亜鉛・保護膜・防汚膜・光線透過率向上膜・変換効率向上膜・機能膜・反射防止膜
電池 2次電池・燃料電池
その他 フッ素・光触媒・凹凸基板・小型パネル・大型パネル・次世代ディスプレイ・MEMS

優位なワーク、材料

■ワーク

凹凸基板 スピン・スリットコートでは対応できないワーク
小型〜大型 小型〜大型ワークまで気流・粒子径制御により均一な仕上りが可能です。

■材料

スラリー 液中に溶け込まない金属等の溶液
蛍光材料 顔料が混入されており、絶えず循環・攪拌・その他の方法が必要なワーク
カーボン スピン・スリット等で、引き伸ばすことが難しいワーク

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