精密洗浄技術

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精密洗浄

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霧化技術の開発が生み出した技術

半世紀にわたる霧化技術の開発をベースに洗浄液を微粒化し、その衝突エネルギーで洗浄します。非接触の物理的洗浄で、サブミクロン単位の微小パーティクルまでの洗浄に対応しております。

超高圧マイクロジェット洗浄システム

超高圧マイクロジェット洗浄システムとは、洗浄液をポンプから加圧圧送し、マイクロジェットノズルから微小液滴化した洗浄液をワークに向かって高速噴射する物理的な洗浄システムです。

洗浄イメージ図

洗浄メカニズム

マイクロジェットノズルから洗浄液を液滴化し、高速かつ高密度に連続衝突させることで、ワーク上の微小パーティクルを剥離します。

ジェッティング効果イメージ

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液滴が洗浄物に対象に衝突した瞬間

圧力と噴射速度の関係

超高圧マイクロジェット洗浄システムの霧化方式は、超純水を加圧して、マイクロジェットノズルで霧化する一流体方式。圧力は最大20MPaまで昇圧可能で、洗浄力の要因と考えられる噴射速度を大きく調整することができます。

洗浄力の理論式

FPD製造工程 CF 受入洗浄、現像後リンス
アレイ 受入洗浄、成膜前洗浄、剥離後洗浄
セル PI前洗浄、ラビング後洗浄、カッティング後洗浄
有機EL 受入洗浄、成膜前洗浄
半導体洗浄工程 スライス・研磨後洗浄、研磨パッド洗浄、CMP研磨パット洗浄
太陽電池製造工程 スライス後洗浄、基板受入洗浄、レーザーカット後洗浄
その他 生産プロセス治具の洗浄、
食品製造工程における洗浄、
医療関連製造工程における洗浄

ウェーハ対応洗浄ツール:RACノズル

粒子径、粒子飛行速度を個別に制御し、ウェーハ上のダメージレス化を追求した回転霧化式二流体の洗浄ツールです。

洗浄の様子

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