精密清洗装置•精密涂层技术

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精密洗浄技术

雾化技术开发的结晶

以长达半世纪的雾化技术的开发为基础,使清洗液微粒化,利用对其加压、输送后形成的碰撞能量进行清洗。设备不接触工件,可应对亚微米单位的微小颗粒的清洗。

超高压微喷射流清洗系统(High Pressure Micro Jet Cleaning System)

所谓超高压微喷射清洗系统,是指将清洗液用泵加压、输送,利用从微型喷射式喷嘴中喷出的微小液滴化的清洗液,对准工件高速喷射的物理清洗系统。

洗浄イメージ図

洗浄メカニズム(ジェッティング効果)

洗浄液滴が対象に衝突した瞬間

从微型喷射式喷嘴中连续不断地喷出经过微小液滴化的、高速且高密度的清洗液,可以剥离工件上的微小粒子。

压力和喷射速度的关系

超高压微喷射流清洗系统的雾化方式是指将超纯水加压后,再用微喷射流喷嘴雾化的单流体方式。压力最大可升至20MPa,能够大幅度调整喷射速度这一被视为清洗力中的重要因素。

清洗力的理论公式

精密涂层技术

将纳米世界科学化的技术

分别控制粒子直径和粒子飞行速度以达到最准确涂膜的技术,和通过低压实现高微粒均匀化的技术以及连续进行稳定供给的装置相结合,从而形成纳米级超薄膜乃至数µm的膜。

精密涂层装置

采用不旋转玻璃电路基板的扫描方式的简单结构涂层系统。

提供符合要求规格及材料的喷嘴和供给装置。

喷嘴

【能力】:1µm的膜厚条件下膜厚精度为±2~3%。

【膜厚】:可应对纳米级超薄膜、数十µm级的薄膜、数µm级的膜。

旋转雾化喷枪(NC旋杯式)

通过对粒子直径、粒子飞行速度分别进行控制,从而达到最准确的涂膜。

※由于提高了涂装效率,因此可以控制粒子飞行速度。

旋转雾化喷枪(NC旋杯式)

由于本喷枪体积小巧,因此最适合进行微量涂装。

※不仅具有NC旋杯式喷枪的特点,而且由于接液部采用树脂材料,提高了耐药性。

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