精密清洗建议

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超高压微喷射清洗系统(HPMJ®)的提案实例

以HPMJ®为基础改善湿式工序流程

实例1:将毛刷辊清洗设备更换为HPMJ®;将低压喷淋清洗设备更换为HPMJ

通过将现有流水线的清洗设备构成更换为HPMJ®,可在不增加工序数量的基础上提高清洗能力。

效果

可大幅度的去除亚微米单位的微小颗粒。
非接触式清洗,可减少对工件的影响。

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实例2:在清洗流水线中添加HPMJ®

通过在现有流水线清洗构成设备的多余空间内添加HPMJ®,可提高清洗能力。 该装置经过节省空间的设计,添加后也不会占用过多空间。

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实例3:在晶圆研磨装置上安装HPMJ®

效果

通过清洗研磨垫,延长研磨垫寿命。
通过去除研磨头上的颗粒,减少工件上的微小划痕。

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实例4:在超声波清洗工序前添加HPMJ®

效果

通过与超声波清洗的协同效应,提高清洗能力。
抑制超声波清洗液的更换频率。
可同时清洗晶圆盒。

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实例5:在薄膜清洗设备上安装HPMJ®

效果

去除埋入薄膜中的颗粒。
非接触式清洗,不会损伤薄膜表面。

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实例6:在药液剥离清洗设备上安装HPMJ®

可使用HPMJ®喷射各种药液。
(有关可喷射的药液种类,敬请咨询本公司。)

效果

通过药液作用与喷射的协同效应,可大幅缩短剥离时间。

※“HPMJ”是在日本,中国,美国,韩国,台湾,马来西亚,新加坡注册的Asahi Sanac Co.,Ltd.的注册商标。

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